电子工业用水标准

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电子工业用水标准

电子工业用水标准:随着电子工业的飞跃发展，电子工业生产用水的纯度要求也日益提高。在电子管、半导体器件和固体电路等产品的生产过程中使用蒸馏水已不能满足要求。例如:目前半导体集成电路的集成度已达到电路上相邻两个元件之间距离仅为0.002mm左右，所以个0.1mm的污染微粒，就能损坏上百个元件。纯水及高纯水杂质含量少，电阻率大，电绝缘性能好，用它来清洗电子管、固体电路等产品的零件组件，能大大提高产品质量，减少废品，降低成本。因此，纯水及高纯水在电子器件的生产中占有正要地位。纯水即去离子水，又称为除盐水，水中剩余含盐量一般在1.0mg·L-1以下，25°C时水的电阻率应为1.0×10°~10×10°Ωcm。

高纯水一r般指不仅将水中的导电物质几乎完全除去，而且将水中残存的胶体物质、气体以及有机物等也已清除至很低程度的水;水中剩余含盐量在0.1mg. L-以下，25°C时水的电阻率应达到10μ2Ωcm,接近纯水的理论值。

电子工业中生产各类产品对水质的要求目前尚无统一的规范，表4-3及表4-4所列数据仅供参考。

根据原水中存在的杂质情况和对水质的要求，电子工业用水的处理系统分为“一次纯水系统”与“二次纯水系统”全厂集中处理的“一次纯水系统”多采用电渗析(或反渗透)与混合床离子交换串联处理或电渗析与阴阳离子交换，混合床离子交换多级串联组成。当然在电渗析(或反渗透)前还要有预处理。在靠近生产的使用点设置“二次纯水系统”，它将“一次纯水系统”的出水经紫外线(257.3nm的波长)杀菌，混床离子交换以及超滤或微孔滤膜过滤后得超纯水。

清洗零件后的排放水还是较纯的，其电阻率约在3M9Ω·cm,可以回收再处理除去其中的有害成份，再加以利用，这样可减轻水处理装置的负荷并降低运行费用，图4-1为超纯水生产流程示意图。

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